化学性质
| 熔点 | °C |
| 沸点 | 110 °C |
| 密度 | 0.866 g/mL at 25 °C |
| 蒸气压 | 17.5 mm Hg ( 20 °C) |
| 折射率 | n20/D 1.384 |
| 闪点 | 80 °F |
| 储存条件 | Store below +30°C. |
| 溶解度 | 可溶于甲醇（少量）、水（少量） |
| 形态 | 溶液在储存期间颜色可能会变暗 |
| 颜色 | APHA：≤10 |
| PH值 | >13 (H2O, 20°C) |
| 气味 (Odor) | 强烈的氨样气味 |
| 水溶解性 | Soluble in water. |
| 敏感性 | Air Sensitive |
| Merck | 14,9224 |
| BRN | 3558708 |
| Henry's Law Constant | 2.3×1010 mol/(m3Pa) at 25℃, HSDB (2015) |
| 稳定性 | 稳定的。易燃。与强氧化剂、强酸不相容。 |
| InChI | 1S/C4H12N.H2O/c1-5(2,3)4;/h1-4H3;1H2/q+1;/p-1 |
| InChIKey | WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M |
| SMILES | [OH-].C[N+](C)(C)C |
| CAS 数据库 | 75-59-2(CAS DataBase Reference) |
| EPA化学物质信息 | Tetramethylammonium hydroxide (75-59-2) |
安全信息
用途与合成方法产品描述四甲基氢氧化铵(Tetramethyl ammonium hydroxide,TMAH)又称为氢氧化四甲铵、四甲基氢氧化胺,无色至淡黄色液体,是最强的有机碱，极易吸潮，有一定的氨气味，在空气中能迅速吸收二氧化碳，在室温下其蒸汽压较低，在135~145℃完全分解气化，高纯品在140℃低温处理也无微量残渣。四甲基氢氧化铵溶液无色透明有微氨臭，1（wt）％溶液PH值为12.9，是与苛性碱同等强度的强碱。将四甲基氢氧化铵水溶液在减压下浓缩可得到5个结晶水的吸湿性针状结晶，再继续浓缩脱水变成3个结晶水的结晶，再变成1个结晶水的四甲基氢氧化铵，在135～140°C分解为三甲胺和二甲基醚，通常制10%、25%的水溶液。制备工艺四甲基氢氧化铵的制备方法很多，一般采用氧化银法，通过四甲基氯化铵与氧化银反应生成。但该法制备四甲基氢氧化铵的工艺复杂，原料氧化银价格昂贵，而且所得产品含较高的杂质离子，如卤素离子、碱金属离子等，用于有机硅单体催化聚合时，严重影响有机硅产品特性，更无法满足电子领域清洗和腐蚀的要求。
国外从七十年代开始采用电解法制备四甲基氢氧化铵的新工艺，并逐步取代氧化银法。用电解法制得的产品质量较好，成本低，不仅能满足有机硅生产的需要，而且进入了电子工业领域。用途1.在有机硅方面，四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂，硅橡胶等的催化剂；
2.在分析方面，四甲基氢氧化铵作为极谱试剂；
3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素；
4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。
5．在电路板的印刷和显微镜片的制造中，可作为集成电路板的清洗剂和半导体微加工技术中si-sio2界面的各向异性腐蚀剂。
6．用作CMP过程清洗剂，IC.vlsi及TFI-LCD正胶显影剂。用途在有机硅方面，作为二甲基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在分析方面，作为极谱试剂，在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素，在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。本产为有机硅聚合中的催化剂。其优点是：它具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定。超过分解点时迅速分解为三甲胺和甲醇。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”。在分析中可用于极谱试及用来沉淀不含灰份的许多元素的氢化物。用途氨基硅油、201甲基硅油、硅橡胶等有机硅类产品聚合中的催化剂。当水溶液使用时，可用作合成RT培司催化剂，亦可用于聚酯类聚合物、纺织、皮革、木材加工、电子、电镀等行业，也是极谱实验支持液用途在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等用途用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等用途用作极谱分析试剂类别腐蚀物品毒性分级剧毒急性毒性皮下- 小鼠 LDL0: 19 毫克/ 公斤爆炸物危险特性对皮肤,角膜有腐蚀性可燃性危险特性蒸气有毒; 燃烧排放有毒氮氧化物和氨气烟雾储运特性库房通风低温干燥; 与酸类分开存放。灭火剂雾状水、泡沫、砂土 |
