化学性质
| 熔点 | <0°C |
| 沸点 | 145 °C |
| 密度 | 0,838 g/cm3 |
| 折射率 | 1.4247 |
| 闪点 | 25°C |
| 储存条件 | 2-8°C, protect from light |
| 形态 | 液体 |
| 酸度系数(pKa) | 10.93±0.70(Predicted) |
| 比重 | 0.84 |
| 颜色 | 无色至淡黄色 |
| 敏感性 | air sensitive, moisture sensitive |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| InChI | 1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3 |
| InChIKey | TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C |
| EPA化学物质信息 | N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7) |
安全信息
| 危险品标志 | F,C |
| 危险类别码 | 10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11 |
| 安全说明 | 16-26-36/37/39-45-43 |
| 危险品运输编号 | 1993 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | VV5800000 |
| TSCA | TSCA listed |
| 存储类别 | 4.3- 危险物，与水接触时会释放出可燃性气体 |
| 危险性类别 | 急性毒性 类别3 经皮
急性毒性 类别3 吸入
急性毒性 类别4 经口
严重眼损伤 类别1
易燃液体 类别2
皮肤腐蚀 类别1B
水-反应性类别2 |
| 毒性 | rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989. |
用途与合成方法产品特性相关的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。 制备一种三（二甲胺基）硅烷的制备方法，包括如下步骤：在惰性气氛保护下，在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，得到三（二甲胺基）硅烷。 |
