硼化钽
时间:2026-07-16 08:38 作者:system 点击:次
化学性质
安全信息
用途与合成方法化学性质硼化钽薄片和晶体的维氏硬度为30GPa。在700℃以下时,这些物质很耐氧化和酸腐蚀,性质是稳定的。
用途硼化钽因具有很高的硬度,可用作高温材料和磨料。 制取采用区域熔炼法可制得TaB,Ta5B6,Ta3B4或TaB2单晶(直径约1cm,长度约6cm)。使用TaCl5-BCl3-H2-Ar混合气体在540~800°C范围内时沉积硼化钽薄片。在源气流量比(BCl3/TaCl5)为6,温度在600°C以上时沉积TaB2(单晶)。在BCl3/TaCl5 = 2/4 ,温度在600-700°C时沉积TaB(单晶)。 |
