四甲基氢氧化铵

中文名称:

四甲基氢氧化铵

中文同义词:

四甲基氢氧化铵, 25% W/W AQ. SOLN.;氫氧化四甲銨;四甲基氢氧化铵;四甲基氢氧化铵(约25%的水溶液);四甲基氢氧化铵(10%的甲醇溶液);四甲基氢氧化铵(10%的水溶液);四甲基氢氧化铵(10%的甲醇溶液)[用于光刻胶研究];氢氧化四甲基胺, 2.38% W/W AQ. SOLN., ELECTRONIC GRADE, 99.

英文名称:

Tetramethylammonium hydroxide

英文同义词:

N,N,N-TRIMETHYLMETHANAMINIUM HYDROXIDE;TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE;TMAH;Tetramethylammoniumhydroxide,25%soln.inmethanol;Tetramethylammoniumhydroxide,25%w/wAqueousSolution,99.5%(metalsbasis);TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDEOL;Tetramethylammonium hydroxide, 10% in water;Tetramethylammonium hydroxide, 25 wt% in methanol

CAS号:

75-59-2

分子式:

C4H13NO

分子量:

91.15

EINECS号:

200-882-9

相关类别:

化学试剂;有机化学;有机碱;显影液;季铵碱系列;生化试剂;季胺碱系列;Analytical Chemistry;Esterification Alkylation (GC Derivatizing Reagents);GC Derivatizing Reagents;季铵盐;离子对试剂;催化剂;其他生化试剂;季铵碱;有机化工原料;有机化工原料;极谱分析试剂;quarternary ammonium bases;Ammonium Hydroxides (Quaternary);Quaternary Ammonium Compounds;Onium Hydroxides (GC Derivatizing Reagents);ACS GradeChemical Synthesis;Essential Chemicals;Organic Bases;Routine Reagents;Synthetic Reagents;Electronic Chemicals;Micro/Nanoelectronics;Atomic Absorption Spectroscopy (AAS);Digestion Reagents;Pure Reagents for Wet Digestion (Trace SELECT);AnionicHPLC;Chromatography/CE Reagents;Ion Pair;Ion Pair Reagents;Ion Pair Reagents - Anionic Concentrate;Reference Material Perchloric acidTitration;Base SolutionsVolumetric Solutions;Organic BasesEssential Chemicals;Reagent Grade;NULL;Semiconductor Grade Chemicals;Reference Material Hydrochloric acidTitration;By Reference Material;Solutions for non-aqueous titrations;Volumetric Solutions;Chemical Synthesis;Base ConcentratesConcentrates (e.g. FIXANAL);Concentrates (e.g. FIXANAL);Reference Material Hydrochloric acid;Titration

Mol文件:

75-59-2.mol

熔点 

°C

沸点 

110 °C

密度 

0.866 g/mL at 25 °C

蒸气压

17.5 mm Hg ( 20 °C)

折射率 

n20/D 1.384

闪点 

80 °F

储存条件 

2-8°C

形态

Solution

颜色

APHA: ≤10

PH值

>13 (H2O, 20°C)

水溶解性 

Soluble in water.

敏感性 

Air Sensitive

Merck 

14,9224

BRN 

3558708

稳定性

Stable. Flammable. Incompatible with strong oxidizing agents, strong acids.

InChIKey

WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M

CAS 数据库

75-59-2(CAS DataBase Reference)

EPA化学物质信息

Tetramethylammonium hydroxide (75-59-2)

产品描述

四甲基氢氧化铵(Tetramethyl ammonium hydroxide,TMAH)又称为氢氧化四甲铵、四甲基氢氧化胺,无色至淡黄色液体,是最强的有机碱，极易吸潮，有一定的氨气味，在空气中能迅速吸收二氧化碳，在室温下其蒸汽压较低，在135~145℃完全分解气化，高纯品在140℃低温处理也无微量残渣。四甲基氢氧化铵溶液无色透明有微氨臭，1（wt）％溶液PH值为12.9，是与苛性碱同等强度的强碱。将四甲基氢氧化铵水溶液在减压下浓缩可得到5个结晶水的吸湿性针状结晶，再继续浓缩脱水变成3个结晶水的结晶，再变成1个结晶水的四甲基氢氧化铵，在135～140°C分解为三甲胺和二甲基醚，通常制10%、25%的水溶液。

制备工艺

四甲基氢氧化铵的制备方法很多，一般采用氧化银法，通过四甲基氯化铵与氧化银反应生成。但该法制备四甲基氢氧化铵的工艺复杂，原料氧化银价格昂贵，而且所得产品含较高的杂质离子，如卤素离子、碱金属离子等，用于有机硅单体催化聚合时，严重影响有机硅产品特性，更无法满足电子领域清洗和腐蚀的要求。 国外从七十年代开始采用电解法制备四甲基氢氧化铵的新工艺，并逐步取代氧化银法。用电解法制得的产品质量较好，成本低，不仅能满足有机硅生产的需要，而且进入了电子工业领域。

用途 

1.在有机硅方面，四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂，硅橡胶等的催化剂； 2.在分析方面，四甲基氢氧化铵作为极谱试剂； 3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素； 4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。 5．在电路板的印刷和显微镜片的制造中，可作为集成电路板的清洗剂和半导体微加工技术中si-sio2界面的各向异性腐蚀剂。 6．用作CMP过程清洗剂，IC.vlsi及TFI-LCD正胶显影剂。

用途 

在有机硅方面，作为二甲基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在分析方面，作为极谱试剂，在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素，在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。本产为有机硅聚合中的催化剂。其优点是：它具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定。超过分解点时迅速分解为三甲胺和甲醇。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”。在分析中可用于极谱试及用来沉淀不含灰份的许多元素的氢化物。

用途 

氨基硅油、201甲基硅油、硅橡胶等有机硅类产品聚合中的催化剂。当水溶液使用时，可用作合成RT培司催化剂，亦可用于聚酯类聚合物、纺织、皮革、木材加工、电子、电镀等行业，也是极谱实验支持液

用途 

在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等

用途 

用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等

用途 

用作极谱分析试剂

类别

腐蚀物品

毒性分级

剧毒

急性毒性

皮下- 小鼠  LDL0: 19 毫克/ 公斤

爆炸物危险特性

对皮肤,角膜有腐蚀性

可燃性危险特性

蒸气有毒; 燃烧排放有毒氮氧化物和氨气烟雾

储运特性

库房通风低温干燥; 与酸类分开存放。

灭火剂

雾状水、泡沫、砂土

危险品标志 

C,T,F,T+,Xn

危险类别码 

24/25-34-20/21/22-39/23/24/25-23/24/25-10-21/22-25-21-11-67-36-52-48/24-27/28-23-35-36/38

安全说明 

45-36/37/39-26-16-36/37-28

危险品运输编号 

UN 3286 3/PG 2

WGK Germany 

1

RTECS号

PA0875000

F 

4.4-10-34

TSCA 

Yes

HazardClass 

3

PackingGroup 

II

海关编码 

29239000