(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴

中文名称:

(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴

中文同义词:

(3,3-二甲基-1-丁炔)羰基二钴六羰基;(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴;(3,3-二甲基-1-丁烯)二钴六羰基

英文名称:

(3,3-DIMETHYL-1-BUTYNE)DICOBALT HEXACARBONYL

英文同义词:

Dicobalt hexacarbonyl t-butylacetylene, 99%;(3,3-DIMETHYL-1-BUTYNE)DICOBALT HEXACARBONYL;(3,3-Dimethyl-1-butyne)dicobalthexacarbonyl,98%;Cobalt, hexacarbonyl[M-[(1,2-h:1,2-h)-3,3-diMethyl-1-butyne]]di-, (Co-Co) (9CI);(3,3-Dimethyl-1-butyne)dicobalt hexacarbonyl, 98% CCTBA;CCTBA;-1-butyne)dicobaL;t hexacarbonyL

CAS号:

56792-69-9

分子式:

C12H10Co2O6

分子量:

368.07

EINECS号:

相关类别:

有机贵金属催化剂;metalocene

Mol文件:

56792-69-9.mol

沸点 

52°C / 0.8

形态

liquid

颜色

dark red

敏感性 

air sensitive

CAS 数据库

56792-69-9

概述

（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴（CCTBA）是几种用于制造设备重要功能层的含钴CVD/ALD前体之一。

应用

(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴是制备钴金属、氮化钴、钴硅化物等的重要前驱体，特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用，具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下，钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。