硅烷

中文名称:

硅烷

中文同义词:

甲矽烷;RB-602硅烷偶联剂;RB-902硅烷偶联剂;硅烷;四氢化硅;甲硅烷;硅烷,四氢化硅

英文名称:

Silicon tetrahydride

英文同义词:

flots100sco;Monosilane;SiH4;Silicane;Silicon hydride;Silicon hydride (SiH4);tetrahydrure;tetrahydruredesilicium

CAS号:

7803-62-5

分子式:

H4Si

分子量:

32.12

EINECS号:

232-263-4

相关类别:

硅烷试剂;有机化工;硅烷;Silane series

Mol文件:

7803-62-5.mol

熔点 

-185 °C

沸点 

-112 °C

密度 

1.114 g/mL at 25 °C(lit.)

蒸气密度

1.1 (vs air)

形态

colorless gas

比重

0.680

水溶解性 

decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93]

水解敏感性

10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required

Merck 

13,8562

暴露限值

TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH).

EPA化学物质信息

Silane (7803-62-5)

应用

四氢化硅广泛应用于电子工业、能源工业、玻璃工业、化学工业及高科技领域等多个行业和领域，其主要用做生产液晶 TFT、太阳能电池、半导体、感光体材料等。近几年，由于我国集成电路产业发展迅速，超大规模或大规模集成电路在国有很大的发展空间，这将使四氢化硅的消费量日益增长。同时，由于太阳能市场的繁荣仍将持续，据预测，从2010年至2020年，全球四氢化硅市场将以年均20%的速率增长。四氢化硅是一种重要的特种气体，是一个国家气体产业是否先进的重要标志。我国作为经济迅速发展的大国，每年消耗的多晶硅将近4000吨左右，每年消耗的四氢化硅约为200～300吨，有较大的接触人群。

用途 

用于集成电路制造、太阳能电池、涂膜反射玻璃等

用途 

用于制造集成电路、太阳能电池、涂膜反射玻璃等

类别

有害气体

毒性分级

中毒

急性毒性

吸入-大鼠 LC50: 9600 PPM/4小时; 吸入-小鼠 LCL0: 9600 PPM/4小时

爆炸物危险特性

与空气混合易爆

可燃性危险特性

易燃; 遇热分解有毒硅和易燃氢气; 与液体接触防止烫伤

储运特性

库房通风低温干燥; 与氧化剂、卤素分开存放

灭火剂

雾状水、泡沫、二氧化碳

职业标准

TLV-TWA 7 毫克/立方米

危险品标志 

F+,Xn

危险类别码 

12-17-20

安全说明 

9-16-33-36/37/39

危险品运输编号 

UN 2203 2.1

WGK Germany 

1

RTECS号

VV1400000

TSCA 

Yes

DOT Classification

2.1 (Flammable gas)

HazardClass 

2.1