二氟代氙

中文名称:

二氟代氙

中文同义词:

二氟代氙, 99.5% (METALS BASIS);二氟代氙;二氟化氙XEF2

英文名称:

XENON DIFLUORIDE

英文同义词:

XENON DIFLUORIDE 99%;XENON DIFLUORIDE, 99.5+%;Difluoroxenon(II);Xenon(II) fluoride, 99.5%;Xenon(II)fluoride,99+%;Xenon difluoride 99.9%;xenon fluoride;XENON(II) DIFLUORIDE

CAS号:

13709-36-9

分子式:

F2Xe

分子量:

169.29

EINECS号:

237-251-2

相关类别:

化学品 ( Chemical );半导体制程材料;化工原料;metal halide;Electronic Chemicals;FluoridesSynthetic Reagents;Micro/Nanoelectronics;C-X Bond Formation (Halogen);Fluorination;Synthetic Reagents

Mol文件:

13709-36-9.mol

熔点 

129 °C (lit.)

沸点 

114.35°C (estimate)

密度 

4.32 g/mL at 25 °C (lit.)

蒸气压

3.8 mm Hg ( 25 °C)

闪点 

None

储存条件 

Store at +2°C to +8°C.

形态

Crystals

颜色

White

比重

4.320

水溶解性 

Decomposes in water.

敏感性 

Moisture Sensitive

Merck 

14,10072

稳定性

Stable. Incompatible with air, moisture. Releases fluorine on decomposition. Contact with combustible material may cause fire. (Traces of xenon tetrafluoride are sometimes found with this material. When exposed to moisture, the tetrafluoride may form the explosive xenon trioxide.)

InChIKey

IGELFKKMDLGCJO-UHFFFAOYSA-N

CAS 数据库

13709-36-9(CAS DataBase Reference)

EPA化学物质信息

Xenon fluoride (XeF2) (13709-36-9)

理化性质

二氟化氙（XeF2），又称二氟代氙，分子量为169.30，是一种无色固体，在室温下容易升华而形成透明晶体。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解，在酸性溶液中较为稳定，水溶液有刺激气味。二氟化氙蒸汽是无色的，具有令人发呕的恶臭。在电子工业中，XeF2常被用作硅的蚀刻气体，由于XeF2和硅的化学反应是自发反应，XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性，在XeF2对硅进行腐蚀过程中，XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面，并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4，从而实现对硅的腐蚀。

用途 

非常有效的氟化剂。

危险品标志 

O,T+,T

危险类别码 

8-25-26-34

安全说明 

17-26-28-36/37/39-45

危险品运输编号 

UN 3087 5.1/PG 2

WGK Germany 

3

RTECS号

ZE1294166

F 

1-10

Hazard Note 

Oxidising Agent

TSCA 

T

HazardClass 

5.1

PackingGroup 

II

海关编码 

28129019