硅化钒_原料药|化学试剂|武汉灵灵九生物科技有限公司

硅化钒

时间:2026-07-16 08:32 作者:system 点击:次

硅化钒结构式

化学性质

熔点	1677 °C
密度	4.420
溶解度	溶于HF
形态	金属棱状
颜色	金属棱状晶体
电阻率 (resistivity)	9.5 (ρ/μΩ.cm)
水溶解性	soluble HF [KIR83]
晶体结构	Hexagonal
EPA化学物质信息	Vanadium silicide (VSi2) (12039-87-1)

安全信息

危险品标志	Xi
危险类别码	36/37
安全说明	26-36
WGK Germany	3
TSCA	TSCA listed
危险等级	6.1

用途与合成方法

概述

硅化物是制备大规模集成电路的关键材料，用它可以作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线，超大规模集成电路结深很浅，如64 兆位的超大规模集成电路的PN 结深度浅到200nm ，在如此浅结表面用常规的方法制备电极引线，经常导致PN 结穿通，使电路失效，为此则需要制备薄层硅化物，其中硅化钒是一种最好的选择。

用途

硅化物是制备大规模集成电路的关键材料，用它可以作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线，超大规模集成电路结深很浅.硅化钒的主要用途如下：1.制备硅化钒薄膜。2.制备一种吸声陶瓷材料。

生产方法

在一直流等离子电弧炉中，加热V和Si的单质粉末。