乙酰丙酮铪
时间:2026-07-16 09:53 作者:system 点击:次
化学性质
安全信息
用途与合成方法简介乙酰丙酮铪为白色结晶状粉末,易溶于甲醇、乙醇、氯仿、苯、甲苯、乙醚等常规有机溶剂,遇水水解。它的升华温度为193°C,是MOCVD (金属有机化学气相沉积)制备HfO2涂层和薄膜的理想前驱体,早在20世纪70年代M. Balog就以Hf (acac)4为前驱体制备了高纯HfO2薄膜。理化性质白色粉末。溶于苯和四氯化碳。 应用以Hf (acac)4为前驱体制备的HfO2薄膜具有高熔点(约2758°C ),高的介电常数(约25)等优异的物理化学性能,在高温保护涂层、光学涂层、栅介质材料、传感器等领域具有广泛的应用前景。特别是由于HfO2具有高的k值、宽的带隙(5. 7ev),与Si接触较好的热力学稳定性和良好的晶格匹配特性,是替代传统SiO2栅介质材料的理想化合物。制备乙酰丙酮铪是一种配合物,其呈白色固体状,为乙酰丙酮的主要铪配合物,可由四氯化铪、乙酰丙酮和碱来制备。 生产方法
将HfO2溶于氢氟酸中,同硝酸一起蒸干,将固体物质溶于水中、制得金属盐的水溶液。 按照Hf(acac)4的组成,将化学计量的乙酰丙酮溶于苯中,制得乙酰丙酮的有机溶液。 将上述水溶液和有机溶液混合,在激烈搅拌下,慢慢滴加稀NaOH水溶液,使溶液pH值达到一适当值(通常5~7)。络合物从有机相中析出。然后用无水苯或其他有机溶剂进行重结晶。 |
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