双（叔丁基氨基）硅烷_原料药|化学试剂|武汉灵灵九生物科技有限公司

双（叔丁基氨基）硅烷结构式

沸点	167°C
密度	0,816 g/cm³
折射率	1.4236
闪点	30°C
形态	液体
酸度系数(pKa)	11.91±0.70(Predicted)
比重	0.816
颜色	无色
敏感性	moisture sensitive, store cold
水解敏感性	8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
EPA化学物质信息	Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)- (186598-40-3)

TSCA

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双（叔丁基氨基）硅烷是（BTBAS）硅烷偶联剂的一种，BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体，可沉积均匀的氮化硅，可用于制备氮化硅薄膜，半导体器件和浅沟道隔离薄膜。