化学性质
| 熔点 | −10 °C(lit.) |
| 沸点 | 188 °C756 mm Hg(lit.) |
| 密度 | 0.92 g/mL at 25 °C(lit.) |
| 蒸气压 | 35Pa at 25℃ |
| 折射率 | n20/D 1.445(lit.) |
| 闪点 | 139 °F |
| 储存条件 | 2-8°C, protect from light |
| 水溶解性 | Decomposes in contact with water,Insoluble in water |
| 酸度系数(pKa) | 14.76±0.20(Predicted) |
| 形态 | 液体 |
| 颜色 | 无色 |
| 比重 | 0.922 |
| 水解敏感性 | 7: reacts slowly with moisture/water |
| BRN | 774739 |
| InChI | 1S/C6H21N3Si3/c1-10(2)7-11(3,4)9-12(5,6)8-10/h7-9H,1-6H3 |
| InChIKey | WGGNJZRNHUJNEM-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | C[Si]1(C)N[Si](C)(C)N[Si](C)(C)N1 |
| CAS 数据库 | 1009-93-4(CAS DataBase Reference) |
| NIST化学物质信息 | Hexamethylcyclotrisilazane(1009-93-4) |
| EPA化学物质信息 | Cyclotrisilazane, 2,2,4,4,6,6-hexamethyl- (1009-93-4) |
安全信息
| 危险品标志 | Xi |
| 危险类别码 | 36/37/38 |
| 安全说明 | 26-36 |
| 危险品运输编号 | 1993 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | GZ4720000 |
| F | 10-21 |
| TSCA | TSCA listed |
| 危险等级 | 3.2 |
| 包装类别 | III |
| 海关编码 | 29349990 |
| 存储类别 | 3- 易燃液体 |
| 危险性类别 | 急性毒性 类别4 经口
眼部刺激 类别2
易燃液体 类别3
经皮刺激 类别2
特异性靶器官毒性-一次接触，类别3 |
用途与合成方法用途
六甲基环三硅氮烷作为氮化硅和碳氮化硅沉积的前体已被广泛研究，并可作为光刻胶中的添加剂。
应用六甲基环三硅氮烷作为常见的硅氮烷之一，它是合成高分子的良好单体，在羟基存在下，易开环与多种单体进行共聚，在合成橡胶、工程塑料工业中有广泛应用。合成
六甲基环三硅氮烷是在1948年由 Brewer 和 Haber 通过二甲基二氯硅烷 Si(CH 3) 2Cl 2和液氨NH3反应，然后用苯萃取沉淀首次合成的。
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