中文名称:

米吡氯铵

中文同义词:

米吡氯铵;十四烷基吡啶铵;咪吡氯铵;氯化4-甲基-1-十四基吡啶-1-嗡

英文名称:

MYRISTYL-G-PICOLINIUM CHLORIDE

英文同义词:

1-myristylpicolinium;1-tetradecyl-4-picoliniuchloride;4-methyl-1-tetradecyl-pyridiniuchloride;quatresin;MYRISTYL-GAMMA-PICOLINIUM CHLORIDE;MYRISTYL-G-PICOLINIUM CHLORIDE;Myristyl-gamma-Picolinium;Pyridinium, 4-methyl-1-tetradecyl-, chloride

CAS号:

2748-88-1

分子式:

C20H36ClN

分子量:

325.97

EINECS号:

220-387-1

相关类别:

原料

Mol文件:

2748-88-1.mol

储存条件 

Inert atmosphere,Room Temperature

EPA化学物质信息

Pyridinium, 4-methyl-1-tetradecyl-, chloride (2748-88-1)

制造方法

在湿式蚀刻或干式蚀刻之后的洗涤工序中，使用含有选自具有碳原子数12、碳原子数14或碳原子数16的烷基的咪唑鎓卤化物、具有碳原子数14或碳原子数16的烷基的吡啶鎓卤化物和具有碳原子数16或碳原子数18的烷基的卤化铵中的至少一种及水的用于抑制微细结构体的图案倒塌的处理液。其中由氧化硅形成的微细结构体为半导体装置或微机械。