(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴_原料药|化学试剂|武汉灵灵九生物科技有限公司

(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴结构式

沸点	52°C / 0.8
形态	液体
颜色	深红
敏感性	air sensitive
InChI	InChI=1S/C6H10.6CO.2Co/c1-5-6(2,3)4;6*1-2;;/h1H,2-4H3;;;;;;;;
InChIKey	ZJCVAZZKJPVOPY-UHFFFAOYSA-N
SMILES	C(C(C)(C)C)#C.[O+]#[C-].[O+]#[C-].[O+]#[C-].[O+]#[C-].[O+]#[C-].[O+]#[C-].[Co][Co]
CAS 数据库	56792-69-9

（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴（CCTBA）是几种用于制造设备重要功能层的含钴CVD/ALD前体之一。

(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴是制备钴金属、氮化钴、钴硅化物等的重要前驱体，特别是对于钴阻挡层/衬层、共覆盖层和共晶种层的应用，具有优异的性能。在阻挡层和种子层的情况下，钴膜显示出后续种子形成和电镀步骤的高导电性。